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光譜角分布測(cè)量系統(tǒng)
全波段光譜透過(guò)率測(cè)量，透射角分布測(cè)量
全波段光譜反射率測(cè)量，反射角分布測(cè)量
波長(zhǎng)范圍:200nm-IR
不同的光譜范圍可能需要不同的光學(xué)光路設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)
雙層平臺(tái)獨(dú)立旋轉(zhuǎn)，重復(fù)定位精度0.005°，分辨率0.00125°
樣品置于上層旋臺(tái)，探測(cè)器置于下層旋臺(tái)，樣品和探測(cè)器可以任意角度工作
臺(tái)面上放置一個(gè)五維調(diào)整鏡座，可將樣品調(diào)整到旋臺(tái)的旋轉(zhuǎn)中心并且垂直于臺(tái)面
功能擴(kuò)展：測(cè)量光柵衍射效率
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