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薄型電動(dòng)直線滑臺(tái)以毫米級(jí)厚度重構(gòu)精密運(yùn)動(dòng)新范式
從基礎(chǔ)到精準(zhǔn)，電動(dòng)直線滑臺(tái)安裝指南
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壓電 · ?范圍掃描運(yùn)動(dòng) — Carrier.S100-OB.Z
室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征
• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；
• 最?負(fù)載 500 g；
• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；
• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級(jí)
Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)
可選版本 ? | 正常版本 | ||
.NM 絕對(duì)?磁版本； .HV， ?真空版本 ; .UHV ，超?真空版本； | |||
1 | 運(yùn)動(dòng)?向 | Z 軸 | |
2 | ?程 | 100 um | |
3 | 線性度 | 0.02% | |
4 | 搖擺 / 俯仰 | 30 urad | |
5 | 內(nèi)置傳感器 | 電容式傳感 | |
6 | 傳感器噪? | 0.3 nm | |
7 | Z ?向分辨率，開環(huán) | 0.1 nm | |
8 | 穩(wěn)定時(shí)間 (90%位置到達(dá)) | 15 ms | |
0.4 N/um | |||
9 | 剛性 | ||
10 | 共振頻率(?負(fù)載) | 650 Hz | |
11 | 共振頻率( 150 g 負(fù)載) | 275 Hz | |
12 | 整體重量 | 270 g | |
13 | 不銹鋼304 ，鋁合? | ||
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